Kot vsi vemo, obstaja samo en proizvajalec na svetu, ki lahko proizvaja EUV litografijo, to je nizozemski ASML.
In razlog, zakaj je edini na svetu, je ta, ker bo ASML veliko ključnih proizvajalcev združenih skupaj, kot je nemško optično podjetje Zeiss (Zeiss), nato ameriško podjetje Cymer in nato nemška skupina Tom Fast (TRUMPF). ) in tako naprej.
ASML je te proizvajalce povezal s svojim vozom z naložbami, nakupi, lastništvom, ustanovitvijo raziskovalnih centrov in tako naprej, in ti proizvajalci so verjetno edini proizvajalci na svetu, ki lahko proizvajajo te izdelke, tako da je končno samo ASML sposoben proizvajati EUV litografijo na svetu.
Vendar je pred kratkim ključna dobavna veriga ASML tekla v Shenzhen na Kitajskem, da bi zgradila tovarno, njena podružnica Shenzhen pa se je nastanila v kitajsko-nemškem (Evropskem) industrijskem demonstracijskem parku Baoan.
Ta proizvajalec je nemška Tom Fast Group (TRUMPF), to je EUV litografija ASML, edini svetovni dobavitelj laserskih virov.
Kako pomembni so izdelki TRUMPF v litografiji EUV? Najprej naj razložim princip EUV litografije, razumeli boste.
Načelo EUV litografije, poenostavljeno povedano, je osredotočeno na tri glavne sisteme, sistem EUV UV svetlobnega vira, sistem objektivnih leč in sistem mize.
Specifičen postopek je uporaba laserja za vzbujanje ekstremne ultravijolične svetlobe z valovno dolžino 13,5 nm in nato po korekciji za oblikovanje nadzorovanega žarka svetlobe, nato pa se ta žarek svetlobe projicira na mizo fotomaske in nato projicira skozi objektiv. ogledalo na ekspozicijsko mizo in končno vrezal vezje na silikonsko rezino, prevlečeno s fotorezistom.
Eden od sistemov EUV UV svetlobnega vira se pridobi z bombardiranjem kovinske kapljice kositra (Sn) s CO2 laserjem z močjo 30 kW, izhlapevanjem v plazmo in končno pridobitvijo EUV svetlobe valovne dolžine 13,5 nm.
Ta 30 kW CO2 laser zagotavlja TRUMPF, edini te vrste na svetu.
Ne podcenjujte tega CO2 laserja, saj ima 457.329 delov, dolžina kabla v sistemu je do 7.322 metrov, teža pa 17.090 kg, kar je ena najpomembnejših jedrnih komponent EUV litografije.
Zdaj je TRUMPF tekel na Kitajsko, da bi zgradil tovarno, namen je jasen, to je optimističen glede kitajskega laserskega trga in še bolj dolgoročen pogled, optimističen glede kitajskega trga litografije, prihodnost bo morda sodelovala s Kitajsko pri izgradnji EUV litografije .
Pravzaprav že obstaja več kot ena dobavna veriga ASML, ki teče na Kitajsko za izgradnjo tovarne, preden pridejo KMWE in drugi proizvajalci, tudi na Kitajsko za izgradnjo tovarne.
Glede na trenutni trend lahko optimistično pričakujemo, da morda ne bo dolgo, preden bo kitajska litografska tehnologija velik korak naprej, in celo obseg proizvodnje EUV litografije, se lahko veselimo, kaj mislite?
